適用范圍：
．晶圓生產(chǎn)
．太陽能
．LED

制程：
．入料/出庫
．制程取放
．品保檢驗

優(yōu)點：
．高潔凈度避免人工操作污染
．高荷重避免人工操作風(fēng)險, 計算機作業(yè)料帳清楚, 上下游數(shù)據(jù)傳送精確